2024年陕西光电子先导院科技有限公司涂胶显影机(inline)及DUV光刻机采购国际(2)招标

2024年陕西光电子先导院科技有限公司涂胶显影机(inline)及DUV光刻机采购国际(2)招标


1、招标条件
项目概况:采购TELLithius型号涂胶显影机(inline)及ASMLXT1400F型号DUV光刻机旧设备，各1台
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目名称:陕西光电子先导院科技有限公司涂胶显影机(inline)及DUV光刻机采购
项目实施地点:中国陕西省
招标产品列表(主要设备):

序号产品名称数量简要技术规格备注
1TELLithius型号涂胶显影机(inline)旧设备1台Lithius涂胶显影设备用于8英寸(200mm)notchwaferinlineArF硅光工艺平台光刻制程中的涂胶显影工艺
2ASMLXT1400F型号DUV光刻机旧设备1台ASMLXT1400F设备用于8英寸(200mm)notchwaferinline193nmArF硅光工艺平台，通过投影成像方式，把掩模版上集成电路图形以高分辨率、高精度、高效率的曝光在涂有胶层的硅片表面实现光刻制程中的曝光工艺
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投标人应具备的资格或业绩:1)投标人：
a.合法注册（投标人为独立法人）
b.如投标人非设备制造厂商，须提供原装设备购买合同或归属权证明资料，以证明材料须能证明此设备属于投标人。
c.投标人持有开户银行在开标日期前三个月内开具的资信证明（境内投标人由其开立基本账户的银行开具）。
d.持有单位负责人授权书。
2)业绩要求:近三年（2021年1月起至今）投标同类产品（至少包含DUV光刻机设备）在中国大陆或港澳台地区具有正常使用业绩。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2024-06-26
招标文件领购结束时间:2024-07-03
招标文件售价:￥1000/$150
其他说明:发售时间为工作日，每天8:30-11:30时,13:30-16：30时止
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2024-07-1710:00


友情提醒：报名前与下方联系人索取投标登记表，以及办理后续事宜。
联系人：郝亮
手机：13146799092(微信同号)
邮箱：1094372637@qq.com