2024年沈阳仪表科学研究院有限公司电子束蒸发设备招标

2024年沈阳仪表科学研究院有限公司电子束蒸发设备招标
招标编号：XDZH-2024YBHW-24
公告发布时间：2024年8月20日
1.招标条件
本招标项目为电子束蒸发设备采购项目，招标人为沈阳仪表科学研究院有限公 司，资金来源为国企自筹资金。该项目己具备招标条件，现对电子束蒸发设备采购 项目进行招标。
2.项目概况与招标范围
2.1招标内容：电子束蒸发设备1套，利用电子束给材料加热，使材料在高真 空下蒸发至基片表面，形成薄膜；最高限价220万元。
2.2主要技术参数
2.2.1 1ift-off模式下，6时wafer一次可加工不少于9片；
2.2.2蒸发厚度均匀性：片内5%以内，片间5%以内，批次3%以内(去边5mm测量）：
2.2.31ift-off和行星模式下的转盘采用磁流体直驱方式，减少机械传动，增加设备稳定性；
2.3交货期：6个月内。
2.4交货地点：沈阳市浑南区浑南东路49-29号。
3.投标人资格要求
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3.2代理商或经销商参与投标应具有制造商授权；
3.3投标人同类产品在客户端无危险事故记录；
3.4本次招标不接受联合体投标。
4.招标文件的获取
4.1发售时间：2024年8月21日9：00时至2024年8月27日16:00时（北 京时间），节假日除外。
4.2招标文件每套售价500元，售后不退。
4.3资格文件包括：投标人独立法人资格证明、法人代表证明、法定代表人签署的 委托代理人授权书等。
5.投标文件的递交
5.1 投标文件递交的截止时间为2024_年9月12日14时30分。
5.2逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件， 招标人将予以拒收。
友情提醒：报名前与下方联系人索取投标登记表，以及办理后续事宜。
联系人：李 工 
电 话：17610398736(微信同号)
邮 箱：17610398736@163.com
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